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描述:P+F電容式傳感器圖片電容式傳感器的是結(jié)構(gòu)簡單,價格,靈敏度高,零磁滯,真空兼容,過載能力強,動態(tài)響應(yīng)特性和對高溫、輻射、強振等惡劣條件的適應(yīng)性強等。缺點是輸出有非線性,寄生電容和分布電容對靈敏度和測量精度的影響較大,以及聯(lián)接電路較復(fù)雜等。
P+F電容式傳感器圖片
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(1)高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小,輸人能量也很低。
電容式傳感器因帶電極板 間靜電引力極小(約幾個10-5 N),因此所需輸入能量極小,所以特別適宜用來解決輸入能量低的 測量問題,例如測量極低的壓力、
力和很小的加速度、位移等,可以做得很靈敏,分辨力非常高,能 感受0.001μm甚更小的位移。
(2)溫度穩(wěn)定性。傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān),有利于選擇溫度系數(shù)低的材料, 又因本身發(fā)熱極小,對穩(wěn)定性影響甚微。
(3)結(jié)構(gòu)簡單,適應(yīng)性強,待測體是導(dǎo)體或半導(dǎo)體均可,可在惡劣環(huán)境中工作。
電容式傳感 器結(jié)構(gòu)簡單,易于制造,可做得非常小巧,以實現(xiàn)某些特殊的測量;
能工作在高低溫、強輻射及強 磁場等惡劣的環(huán)境中,也能對帶有磁性的工件進行測量。
(4)動態(tài)響應(yīng)。由于極板間的靜電引力很小,可動部分做得很小很薄,
因此其固有頻率很 高,動態(tài)響應(yīng)時間短,能在幾兆赫的頻率下工作,特別適合動態(tài)測量,如測量振動、瞬時壓力等。
(5)可以實現(xiàn)非接觸測量,具有平均效應(yīng)。例如非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的振動或偏心、小型滾珠 軸承的徑向間隙等。當(dāng)采用非接觸測量時,
電容式傳感器具有平均效應(yīng),可以減小工作表面粗糙 等對測量的影響。
特點:
(1)轉(zhuǎn)換電路生成頻率信號,可遠(yuǎn)距離傳輸不受干擾。
(2)具有較高的靈敏度,可以測量高0.01μm位移變化量。
(3)但非線性較差,可通過鑒頻器(頻壓轉(zhuǎn)換)轉(zhuǎn)化為電壓信號后,進行補償。
P+F電容式傳感器圖片
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